太陽エネルギ電池のＧｅｘＳｉ１－ｘ緩衝層をシリコンウェハ上に形成する方法。

Title:	太陽エネルギ電池のＧｅｘＳｉ１－ｘ緩衝層をシリコンウェハ上に形成する方法。
Authors:	張翼唐士軒林岳欽
Issue Date:	25-May-2012
Gov't Doc #:	H01L031/04
URI:	http://hdl.handle.net/11536/105804
Patent Country:	JPN
Patent Number:	5001985
Appears in Collections:	Patents

APA	張., 唐., & 林. (2012). 太陽エネルギ電池のＧｅｘＳｉ１－ｘ緩衝層をシリコンウェハ上に形成する方法。. http://hdl.handle.net/11536/105804.
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