| Title: | 多晶半導體薄膜、薄膜電晶體及其製造方法 |
| Authors: | 鄭晃忠 廖湛宇 李一劭 吳俊毅 王冠宇 |
| Issue Date: | 1-Jan-2019 |
| Abstract: | 一種製造多晶半導體薄膜的方法，包含：形成半導體層於基板上；形成覆蓋層於半導體層上；使用雷射光穿透覆蓋層，加熱半導體層使半導體層部分熔融，其中未熔融之另一部分包含多個固態顆粒；以及移除雷射光，使熔融部分之半導體層以固態顆粒為晶種進行再結晶，以形成多晶半導體薄膜。 |
| Gov't Doc #: | H01L021/268 H01L021/324 H01L021/336 H01L029/78 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/151514 |
| Patent Country: | TWN |
| Patent Number: | 201901755 |
| Appears in Collections: | Patents |
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