Title: 無塵室內靜電現象之研究
A Study of Electrostatic Phenomenon in a Clean Room
Authors: 魏中文
Chung-Wen Wei
傅武雄
Wu-Shung Fu
機械工程學系
Keywords: 無塵室;靜電;無塵衣;抗靜電;Clean Room;Electrostatic;Clean Room Garment;Antistatic
Issue Date: 1995
Abstract:   本文主要以實驗方法探討無塵室內靜電在不同狀況下引發之現象,實
驗內容包括:(1)探討作業員在導電地板及塑膠地板上來回走動、自座椅
起身及坐著90度轉身時,在人體及無塵衣上所產生及移轉之靜電(2)探討
聚苯乙烯發泡等包裝填充墊料,在運輸振動後產生之靜電(3)探討在不同
相對濕度下,無塵室內空氣流及渦流,在流經物體表面時產生之靜電。結
果發現,在導電地板上,人體及無塵衣上累聚的靜電不超過100伏特,在
塑膠地板上,累聚的靜電則會倍數增加。此外,在人體及無塵衣上的靜電
,會以傳導方式經鞋底導排至地板。其次,聚苯乙烯發泡在運輸振動後所
產生的靜電,並不足以破壞裝於抗靜電保護袋內的靜電敏感件。再則,即
使在20 %RH低濕下,無塵室內的空氣流及渦流,仍不會因與物體間的摩擦
而引發靜電。
URI: http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT840489046
http://hdl.handle.net/11536/60963
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