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Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
1-Jun-2004 | 利用四氟化碳電漿預處理改善高介電材料特性之製程 | 雷添福; 張子云; 陳筱薇 |
16-Jun-2004 | 一種利用非晶矽及氧化層堆疊形成奈米級超淺接面之製程 | 雷添福; 張子云; 溫凰君 |
1-Jan-2004 | 利用四氟化碳電漿預處理改善高介電材料特性之製程 | 雷添福; 張子云; 陳筱薇 |
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1-Jun-2004 | 利用四氟化碳電漿預處理改善高介電材料特性之製程 | 雷添福; 張子云; 陳筱薇 |
16-Jun-2004 | 一種利用非晶矽及氧化層堆疊形成奈米級超淺接面之製程 | 雷添福; 張子云; 溫凰君 |
1-Jan-2004 | 利用四氟化碳電漿預處理改善高介電材料特性之製程 | 雷添福; 張子云; 陳筱薇 |