標題: 某晶圓廠IPA濕式清洗製程的 VOCs排放減量研究
The Study of Volatile Organic Solvents (VOCs) Emission Reduction of Semiconductor Manufacturing in IPA Wet Cleaning Process
作者: 黃成富
蔡春進
Huang,Cheng-Fu
Tsai,Chuen-Jinn
工學院永續環境科技學程
關鍵字: VOCs排放量;IPA(異丙醇);濕式清洗製程;火焰離子偵測器(FID);VOCs emissions;IPA (Isopropyl alcohol);Wet Cleaning Process;Flame Ionization Detectors
公開日期: 2017
URI: http://etd.lib.nctu.edu.tw/cdrfb3/record/nctu/#GT070061506
http://hdl.handle.net/11536/142709
顯示於類別:畢業論文