雜質及缺陷之交互擴散: 一種磷及硼擴散的新模式

Abstract

本文發展了一套雜質及缺陷交互擴散的數值分析程式，此套程式以解雜質及缺陷的傳 輸及連續方程式所組成，並且以雜質及缺陷的濃度為主要變數。吾人假設雜質的擴散 係數為缺陷濃度的函數，而缺陷的分佈係受雜質裡子所產生的電場所影響。這個模式 成功地解釋了磷及硼等不規則的沈積曲線。缺陷的擴散係數及雜質擴散係數模式中的 比例常數，均可以表示成Arrhenius 的形式。