金屬薄膜式熱偵測器之分析與量測

Abstract

本論文乃針對浮板結構之微型熱幅射感測器作其理論介紹和實驗量測，並就結果分析 。熱偵測器常用之兩種工作模式定偏壓與定溫式，其中後者具有多種優點，文中會針 對定溫式之量測作探討。本研究中測量應信號與真空氣壓的關係，結田果獲得異常優 良的響應度，並建立一量測熱偵測元件熱參數之方法。