標題: | 熱動式撓性微型機構的設計與製作(II) Design and Fabrication of Thermal-Driven Compliant Micromechanisms (II) |
作者: | 徐文祥 HSU WENSYANG 交通大學機械工程系 |
關鍵字: | 微機電系統;微致動器;表面細微加工;體微加工;微型夾子;Micro electromechanical system;Microactuator;Surface micromachining;Bulk micromachining;Microgripper;MEMS |
公開日期: | 1998 |
官方說明文件#: | NSC87-2218-E009-015 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/94862 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=395592&docId=69862 |
顯示於類別: | 研究計畫 |