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dc.contributor.author蘇翔en_US
dc.date.accessioned2014-12-13T10:39:03Z-
dc.date.available2014-12-13T10:39:03Z-
dc.date.issued1996en_US
dc.identifier.govdocNSC85-2745-P009-001zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11536/96028-
dc.identifier.urihttps://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=223377&docId=40053en_US
dc.description.sponsorship行政院國家科學委員會zh_TW
dc.language.isozh_TWen_US
dc.title同步輻射X光光刻術發展之可行性評估---子計畫二:同步輻射X光光罩製作zh_TW
dc.typePlanen_US
dc.contributor.department國立交通大學電子工程學系zh_TW
顯示於類別:研究計畫