一種新型流量感測器與耦合的嵌入式系統

Abstract

一種新型的容積式流量計元件，其由兩片半圓柱金屬薄膜組成，可用於量測流 過的介電質流體。其感測器的電容值係平方反比於輸入流量，此使該元件具有 高敏感度。ㄧ個通用式電容感測器的介面電路，其內部元件包括電容對電壓轉 換器、電壓對頻率轉換器及數位線性度補償器。此電容-頻率 轉換器以TSMC0.35μm2P4M CMOS 製程製作，模擬的結果此介面電路小於10% 的誤差。 電容式介面的嵌入式系統，其特點在設計了一個自動選取量測範圍頻率的電 路。該系統使用Altera DE2 發展板做為硬體平台，可應用於脈衝頻率量測及多種電容式感測器量測 系統。 此系統整合感 測器，介面電路與嵌入式系統為一體不僅製作成本低廉且應用廣泛。