氫氣感測元件

Abstract

一種氫氣感測元件，包含由磁性材料層與非磁性材料層交替堆疊而成的多層膜結構，且位於該多層膜結構表層的為磁性材料層，其中至少位於表層的磁性材料層含有鈀金屬，用以感測氫氣。