以電化學法微細加工同步輻射X光深刻微構件(II)

Date

Authors

Keywords

同步輻射X光 , 微細加工 , 光蝕術 , 電化學蝕刻 , 微探針 , Synchrotron X-ray , Micromachining , Lithography , Electrochemical etching , Microprobe

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=444261&docId=80456
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94533

Collections

研究計畫;;Research Plans