電校式輻射計

Abstract

一種電校式熱輻射計，包含具有凹槽的基底、藉自基底延伸的支臂使片狀懸浮體對應位於凹槽上方的懸浮單元，及第一、二熱量測單元，其中，第一、二熱量測單元分別具有由熱敏材料且彼此相間隔地形成在懸浮體中的第一、二熱膜層，和二分別自第一、二熱膜層延伸並供電訊號輸入及輸出的第一、二電訊號臂，本發明藉自第一電訊號臂輸入已知電訊號令第一熱膜層相對第二熱膜層作為背景熱環境，即令第二熱膜層感受熱源溫度變化，並自第二電訊號臂傳輸的電訊號得知熱源溫度變化，藉此降低環境溫度造成的感測誤差，量得更精確的熱源絕對溫度變化。