具懸浮式奈米通道之電晶體結構與其製造方法

Abstract

一種具懸浮式奈米通道之電晶體結構與其製造方法，其包含有一基底；一位於基底上的側閘極；一覆蓋於基底與側閘極上的介電層；一位於側閘極之側邊的懸浮式奈米線通道，其與介電層間具有一氣隙；以及一源極電極與一汲極電極，其係設置於介電層上且分設於懸浮式奈米線通道的兩端。藉由側閘極之靜電力對懸浮式奈米線通道之吸附或分離，來達到快速改變等效側閘極介電層厚度，而使元件在開關狀態上快速切換或改變通道之起始電壓。