生物感測元件及其製造方法以及生物分子檢測方法

Abstract

一種生物感測元件，包含基板、金屬傳導層、複數個工作電極以及絕緣層。金屬傳導層配置於基板之上，且金屬傳導層具有上表面。此些工作電極配置於金屬傳導層的上表面之上，其中各個工作電極包含一頂面，且各頂面高於金屬傳導層的上表面。絕緣層覆蓋金屬傳導層並圍繞此些工作電極，其中絕緣層之上表面介於此些頂面與金屬傳導層之上表面之間，使得此些工作電極凸出絕緣層之上表面。在此亦提供一種生物感測元件的製造方法，以及利用此生物感測元件進行生物分子檢測的方法。