極大型積體電路元件相關耐火金屬化物及電介質技術
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極大型積體電路 , 耐火金屬 , 電介質 , 化學氣相沈積法 , 電子迴旋共振化學氣相沈積法 , 縱橫比 , ULSI , Refractory metal , Dielectrics , CVD , ECR-CVD , Aspect ratio