12吋矽晶圓半導體VCD製程設備及BST介電薄膜成長研究---總計畫(I)

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892212E009037.pdf (25.67 KB)

Date

Authors

Keywords

CVD反應爐 , 薄膜成長 , 熱流設計 , 矽晶圓 , CVD reactor , Thin film growth , Thermel fluid design , Silicon wafer

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=501199&docId=90359
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/103100

Collections

研究計畫;;Research Plans