閘穿隧電流, 遷移率, 及隨機電報雜訊作為金屬閘高介質應變鰭狀及平面場效電晶體物理機制之測試載具研究
Abstract
Description
Keywords
金屬閘 , 高介質 , 應變 , 場效電晶體 , 鰭狀場效電晶體 , 高等元件物理 , 高等缺陷物理 , 高等可靠性物理 , 閘穿隧電流 , 遷移率 , 隨機電報雜訊 , 遠聲子散射 , 遠庫倫散射 , 量子模擬器 , 負偏壓溫度不穩定 , 正偏壓溫度不穩定 , Metal Gate , High-k , Strain , FET , FinFET , advanced device physics , advanced defect physics , advanced reliability physics , gate tunneling current , mobility , random telegraph signals (RTS) , remote phonon scattering , remote Coulomb scattering , quantum simulat