雙抗諧振反射光波導馬赫任德干涉式感測器

Abstract

本發明之雙抗諧振反射光波導(ARROW)馬赫任德干涉式感測器的用途在偵測外在環境的折射率變化，以供化學和生化感測之用。此一感測元件係由分光區域、感測區域及合光區域等三個區域構成，其中分光與合光區域的結構為具高耦合效率的雙抗諧振反射光波導，而感測區域則是不耦合之雙抗諧振反射光波導。藉由調整結構之對稱性以控制其耦合行為，可達成小巧且不使用彎折結構之積體化馬赫任德干涉式感測器。