超薄閘極氧化層元件可靠性研究

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Keywords

超薄閘極 , 可靠度 , 氧化層 , 協助金屬-氧化物-半導體元件 , Ultra-thin gate , Reliability , Oxide layer , CMOS device

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=665707&docId=126375
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/96741

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研究計畫;;Research Plans