多軸觸覺式感測器之研究(II)

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Date

Authors

Keywords

觸覺感測器 , 微機電系統 , 多軸式 , 溼式蝕刻 , 前置蝕刻 , Tactile sensor , MEMS , Multi-axial , Wet etching , Pre-etching

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=418622&docId=74286
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/94344

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研究計畫;;Research Plans