結合矽奈米線閘極二極體之感測元件、製造方法及其檢測系統

Abstract

本發明係揭露一種結合矽奈米線閘極二極體之感測元件、製造方法及其檢測系統。此感測元件包含一矽奈米線閘極二極體、一頓化層以及一微流道。頓化層包覆此矽奈米線蕭特基二極體且具有一經修飾之表面，微流道與頓化層接合。當一待測樣品透過該微流道接觸此經修飾之表面時，矽奈米線閘極二極體係相對應地產生一電性訊號，如電流值、電阻值或電導值變化，藉此此電性訊號之變化以檢測待測樣品之存在。