低介電常數材料應用於極大型積體電路製程與材料特性分析

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Date

Authors

Keywords

介電常數 , 極大型積體電路 , 材料特性 , Dielectric constant , ULSI , Material characteristics

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=541944&docId=99538
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/102315

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研究計畫;;Research Plans