三維微探針陣列的組裝結構

Abstract

一種三維微探針陣列的組裝結構，利用墊片(spacer)的概念，疊加單片側向式探針成為三維立體結構，並且使每一片側向式探針之導電片皆於墊片露出，使得導線易於連接，而可同時偵測深度與角度，有效的增進感測可靠度，此外，亦可將相關訊號處理積體電路與墊片整合，更可達到整合電路與降低製造成本的優勢。