具寬能隙氧化物之深紫外線感測裝置

Abstract

本發明為一種具寬能隙氧化物之深紫外線感測裝置，其利用一氧化物磊晶感測層設置於基板，使深紫外線(Deep Ultraviolet)感測裝置具較佳之特性， ，且進一步使深紫外線刺激氧化物磊晶感測層之光電流大幅增加，特別是針對深紫外光波段(280-200 nm)之感測效能大為提升。