微機電系統校際整合研究---子計畫二：微小機電材料與製程技術發展與研究

Date

Authors

Keywords

微機電系統 , 微感測器 , 微致動器 , 微元件 , MEMS , Micromaching , Microsensor , Microactuator , Microdevice

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=234537&docId=43046
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/96074

Collections

研究計畫;;Research Plans