製作低溫(450℃)鋁閘極複晶矽薄膜電晶體之相關技術開發---鋁閘極複晶矽薄膜電晶體關鍵技術---Poly-Oxide及Al/sub 2/O/sub 3/之研究與應用(I)
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複晶矽薄膜電晶體 , 陽極氧化 , 鋁閘極 , 複晶矽氧化膜 , 氧化鋁 , Polysilicon TFT , Anodic oxidation , Al gate , Polysilicon oxide , Al2O3