鏡面可調式內視鏡的研究---子計畫II：內視鏡用熱動式多自由度微致動器的設計與製作
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微致動器 , 熱驅動 , 主動式內視鏡 , 多晶矽 , 微細加工 , 有限元素分析 , Microactuator , Thermal driven , Active endoscope , Polysilicon , Micromachining , Finite element analysis (FEA)