低溫電漿蝕刻製程與電漿診斷技術之開發研究---子計畫三：蝕刻製程橢圓儀線上即時量測系統之研製(I)

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https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=801133&docId=153297
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/92038

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研究計畫;;Research Plans