金屬線及空氣低介電常數介電質前瞻性積體技術開發(II)

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Keywords

金屬線 , 低介電常數 , 極大型積體電路 , 氣隙 , Metal wire , Low dielectric constant , ULSI , Air gap

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=665627&docId=126354
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/97684

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研究計畫;;Research Plans