具有非極性三族-氮化物層的多層結構及其製法
Loading...
Files
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
DOI
Abstract
一種具有非極性三族-氮化物層的多層結構及其製法，包括在基板上形成複數成核層；以及
於該成核層上形成非極性三族-氮化物層，其中，各該複數成核層係獨立選自下式(I)之氮化物：
AxB1-xN (I)
式中，A和B係選自B、Al、Ga、IN或Tl之不相同的元素，且0≦x≦1。該複數成核層可有效減緩應力、減少晶格位差、阻擋差排延伸並降低差排密度，故可形成表面平坦且結晶品質佳之三族-氮化物層。