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半導體裝置及其製造方法
半導體裝置及其製造方法
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201635390.pdf
(1.89 MB)
Date
2016-10-01
Authors
簡昭欣
潘正聖
周承翰
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
DOI
Abstract
本揭露係關於一些半導體裝置及其製造方法。在一實施例中,一半導體裝置及其製造方法包括圖案化一基底,使基底具有一第一區域以及延伸自基底的第一區域的一第二區域。沉積一隔離層於基底的第一區域的一表面上,以及磊晶形成一源極/汲極區域,其中源極/汲極區域位於隔離區上且鄰接基底的第二區域的數個側壁。
Description
Keywords
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URI
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/132310
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