鐵電薄膜電容器及製造方法

Abstract

一種鐵電薄膜電容器,包括一下部電極、一鐵電薄膜介電層及一上部電極。該鐵電薄膜介電層係一第一鐵電薄膜、一易氧化金屬層及一第二鐵電薄膜的三明治夾層結構,藉由該易氧化金屬層表面的易氧化特性,使該易氧化金屬層產生不連續接面,以達到加强該鐵電薄膜電容器的電氣熱穩定特性,降低溫度電容係數及降低漏電流的效果。在該鐵電薄膜電容器的製造方法中,使用熱退火處理可增加該易氧化金屬層表面的氧化。