極低介電常數材料(k<2.2)與銅製程在超大型積體電路上之應用研究(I)

Files

912215E009044.pdf (198.92 KB)

Date

Authors

URI

https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=784404&docId=150770
https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/92658

Collections

研究計畫;;Research Plans