橢圓偏光儀之應用(I)

Abstract

橢圓偏光儀已廣為使用在各式薄膜量測上，尤以半導體製成工業，橢圓偏光儀已 成標準配備； 二維橢圓偏光儀最近也已發展成熟，並且應用在生物科技及有結 構式半導體薄膜。 經過過去數年在橢圓偏光儀的研究，我們已經可以在線上校 正各光學元件的偏光角，最近並能在線上校正光彈調製器的相位振幅。 一光彈 調製式的橢圓偏光儀已經發展成熟，如清華工科所的蝕刻系統之線上即時橢圓偏 光儀，接下來就是研究其應用在材料上的量測- 液晶及高分子薄膜。 本實驗室 最近也已克服轉動式橢圓偏光儀入射角偏差的問題，而完成一簡式二維橢圓偏光 儀，並量得一光感異相高分子材料的二維薄膜分佈。藉此兩系統的完成我們已可 量測動態及平面分佈希望能監控各式材料的製成並改善其製程。 目前有興趣的 材料為液晶及高分子薄膜，希望延續研究現在發現的問題：液晶的橢圓偏光特性 及高分子的光感異相性。