氮化鋁疏水薄膜結構與製造方法及其在有機薄膜電晶體之應用

Abstract

一種氮化鋁疏水薄膜結構與製造方法及其在有機薄膜電晶體之應用,乃提出具有高疏水性的氮化鋁薄膜,其具有高的水滴接觸角以及低的表面能,而利於成長疏水性薄膜,構成良好匹配之氮化鋁疏水薄膜結構,並適合作為有機薄膜電晶體的閘極介電層,以降低疏水性有機半導體薄膜與氧化鋁薄膜之間的介面缺陷,且兼具低閘極漏電及高介電係數等特質。