微探針陣列及其翻印模具之製造方法

Abstract

本發明提供一種可快速翻印製備微探針陣列及其翻印模具之的製造方法,其係利用微機電所製作出具高深寬比的矽材微探針作為內模具,接續利用內模具來製備出翻印模具,再於翻印模具內填入熱塑性材並經過適當烘烤、壓模、脫模處理,以大量生產可隨用即丟之實心高分子微探針陣列。