微感測器

Abstract

本發明係揭露一種微感測器，其包含至少一固定結構、一質量塊及至少一可變電感。質量塊設置於該些固定結構之間。質量塊分別透過可變電感與該些固定結構連結。其中，當微感測器感測到待測物理量時，質量塊會因此產生位移，進而導致可變電感形變而造成可變電感之電感值產生變化，並透過測量電路根據該些可變電感之電感值變化計算待測物理量。