微機電製程技術---微加速度計的設計、分析與模擬(II)

Title:	微機電製程技術---微加速度計的設計、分析與模擬(II)
Authors:	邱俊誠 JIN-CHERN(J.C.)CHIOU 國立交通大學電機與控制工程學系
Issue Date:	2000
Gov't Doc #:	NSC89-CS-7009-002
URI:	http://hdl.handle.net/11536/101370 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=550954&docId=101820
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