| Title: | 半導體批次製程可變量測延遲控制器開發研究 The Development of Semiconductor Run-To-Run Process Controller with Variable Measurement Delay |
| Authors: | 李安謙 LEE AN-CHEN 國立交通大學機械工程學系（所） |
| Issue Date: | 2014 |
| Gov't Doc #: | NSC102-2221-E009-052-MY2 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/101805 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=8108765&docId=429189 |
| Appears in Collections: | Research Plans |
- 半導體批次製程可變量測延遲控制器開發研究 / 李安謙;LEE AN-CHEN
- 史密斯預測器與預測干擾觀測器架構應用於半導體製程的量測延遲 / 曾瑞德;Tseng, Jui-Te;李安謙;Lee, An-Chen
- 運用季節性時間序列預測模式在半導體製造業提升製程控制品質之研究－以化學機械研磨製程為例 / 彭徵安;Peng, Cheng-An;許鉅秉;Sheu, Jiuh-Biing
- 對於未知干擾和量測延遲之半導體製程批次控製研究 / 張宸毓;李安謙;Chang, Chen-Yu;Lee, An-Chen
- Output Disturbance Observer Structure Applied to Run-to-Run Control for Semiconductor Manufacturing / Lee, An-Chen;Pan, Yi-Ren;Hsieh, Ming-Tsung
Loading...