斜め堆積を用いて生成されたナノ構造薄膜およびその方法

Title:	斜め堆積を用いて生成されたナノ構造薄膜およびその方法
Authors:	チア－フアチャンチン－シェンヤンチン－フア，チュペイ－チェンユーハオ－チュンクオ
Issue Date:	3-Oct-2014
Gov't Doc #:	C23C014/24 B82B003/00 C23C014/30 C23C014/58
URI:	http://hdl.handle.net/11536/105798
Patent Country:	JPN
Patent Number:	5621955
Appears in Collections:	Patents