| Title: | ナノワイヤチャネルを有する半導体装置の製造方法およびこの装置を用いた半導体装置の製造方法 |
| Authors: | ポ－イ クオ ティエン－シェン チャオ イ－シェン ル |
| Issue Date: | 9-May-2014 |
| Gov't Doc #: | H01L029/786 H01L021/336 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/105799 |
| Patent Country: | JPN |
| Patent Number: | 5532071 |
| Appears in Collections: | Patents |
