| Title: | 具有非極性三族-氮化物層的多層結構及其製法 |
| Authors: | 李威儀 陳振芳 江振豪 |
| Issue Date: | 21-Dec-2012 |
| Abstract: | 一種具有非極性三族-氮化物層的多層結構及其製法，包括在基板上形成複數成核層；以及 於該成核層上形成非極性三族-氮化物層，其中，各該複數成核層係獨立選自下式(I)之氮化物： AxB1-xN (I) 式中，A和B係選自B、Al、Ga、IN或Tl之不相同的元素，且0≦x≦1。該複數成核層可有效減緩應力、減少晶格位差、阻擋差排延伸並降低差排密度，故可形成表面平坦且結晶品質佳之三族-氮化物層。 |
| Gov't Doc #: | H01L021/318 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/105936 |
| Patent Country: | TWN |
| Patent Number: | I380368 |
| Appears in Collections: | Patents |
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