| Title: | 一種鐵電層電極結構及製造方法 |
| Authors: | 曾俊元 李顯億 |
| Issue Date: | 1-May-2004 |
| Abstract: | 本案係指一種鐵電層電極結構及製造方法，其製造方法係包含下列步驟：(a)提供一基板；(b)形成一絕緣層於該基板上；(c)形成複數個氧化物電極於該絕緣層之上；(d)形成一鐵電層於該絕緣層及該複數個氧化物電極之上；以及(e)相對於該複數個氧化物電極形成複數個金屬電極於該鐵電層之上。 |
| Gov't Doc #: | H01L021/8239 H01L029/772 C23C016/06 C23C016/18 H01L021/8239 H01L029/772 C23C016/06 C23C016/18 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/106441 |
| Patent Country: | TWN |
| Patent Number: | 00586184 |
| Appears in Collections: | Patents |
Files in This Item:
If it is a zip file, please download the file and unzip it, then open index.html in a browser to view the full text content.