Title: | 奈米解析度記錄媒體及其他應用之包覆合金碳奈米結構陣列,其製造、機械/熱性質及製程特徵之研究---子計畫二:電子迴旋共振化學汽相沉積反應腔體中電漿製程模擬(III) |
Authors: | 吳宗信 WU JONG-SHINN 交通大學機械工程系 |
Issue Date: | 2005 |
Gov't Doc #: | NSC94-2120-M009-004 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/90847 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1112907&docId=211060 |
Appears in Collections: | Research Plans |