Title: 奈米解析度記錄媒體及其他應用之包覆合金碳奈米結構陣列,其製造、機械/熱性質及製程特徵之研究---子計畫二:電子迴旋共振化學汽相沉積反應腔體中電漿製程模擬(III)
Authors: 吳宗信
WU JONG-SHINN
交通大學機械工程系
Issue Date: 2005
Gov't Doc #: NSC94-2120-M009-004
URI: http://hdl.handle.net/11536/90847
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=1112907&docId=211060
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