奈米解析度記錄媒體及其他應用之包覆合金碳奈米結構陣列，其製造、機械/熱性質及製程特徵之研究---子計畫II：電子迴旋共振化學汽相沉積反應腔體中電漿製程模擬(I)

Title:	奈米解析度記錄媒體及其他應用之包覆合金碳奈米結構陣列，其製造、機械/熱性質及製程特徵之研究---子計畫II：電子迴旋共振化學汽相沉積反應腔體中電漿製程模擬(I)
Authors:	吳宗信 WU JONG-SHINN 國立交通大學機械工程研究所
Issue Date:	2003
Gov't Doc #:	NSC92-2120-M009-002
URI:	http://hdl.handle.net/11536/92009 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=876671&docId=168150
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