新型高效率微致動器及其應用在微機電與微光機電系統之研究(I)

Title:	新型高效率微致動器及其應用在微機電與微光機電系統之研究(I)
Authors:	徐文祥 HSU WENSYANG 國立交通大學機械工程學系
Issue Date:	2003
Gov't Doc #:	NSC92-2212-E009-037
URI:	http://hdl.handle.net/11536/92089 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=879035&docId=168770
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