鎳陶瓷奈米複合材料之製作與特性的探討及其在高密度、高深寬比之穿透晶片導線與微機電系統製作上之應用

Title:	鎳陶瓷奈米複合材料之製作與特性的探討及其在高密度、高深寬比之穿透晶片導線與微機電系統製作上之應用 Fabrication and Characterization of Nickel-Ceramic Nanocomposite Materials for High Desity, Aspect Ratio Through-Wafer Electrical Interconnects and MEMS Applications
Authors:	鄭裕庭 YU-TINGCHENG 國立交通大學電子工程學系
Issue Date:	2003
Gov't Doc #:	NSC92-2215-E009-043
URI:	http://hdl.handle.net/11536/92240 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=796408&docId=152698
Appears in Collections:	Research Plans

Files in This Item:

If it is a zip file, please download the file and unzip it, then open index.html in a browser to view the full text content.

APA	鄭., & Y. (2003). 鎳陶瓷奈米複合材料之製作與特性的探討及其在高密度、高深寬比之穿透晶片導線與微機電系統製作上之應用. https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=796408&docId=152698.
Bibtex	@article{2003, title={鎳陶瓷奈米複合材料之製作與特性的探討及其在高密度、高深寬比之穿透晶片導線與微機電系統製作上之應用}, author={鄭裕庭 and YU-TINGCHENG}, journal={https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=796408&docId=152698}, year={2003}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/92240}, }