半導體工業的廢氣及微粒之聯合去除系統

Title:	半導體工業的廢氣及微粒之聯合去除系統 A Combined Waste Gas-Particle Removal System for Semiconductor Industry
Authors:	蔡春進 Chuen-Jinn Tsai 交通大學環境工程研究所
Issue Date:	2002
Gov't Doc #:	NSC91-2622-E009-006-CC3
URI:	http://hdl.handle.net/11536/92721 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=712818&docId=133715
Appears in Collections:	Research Plans

APA	蔡., & Chuen-Jinn T. (2002). 半導體工業的廢氣及微粒之聯合去除系統. https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=712818&docId=133715.
Bibtex	@article{2002, title={半導體工業的廢氣及微粒之聯合去除系統}, author={蔡春進 and Chuen-Jinn Tsai}, journal={https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=712818&docId=133715}, year={2002}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/92721}, }