低介電常數材料應用在超大型積體電路上之研究(I)

Title:	低介電常數材料應用在超大型積體電路上之研究(I) Study on Low Dielectric Constant Materials in ULSI Application(I)
Authors:	施敏 SZE SIMON MIN 國立交通大學電子工程學系
Issue Date:	2000
Gov't Doc #:	NSC89-2215-E009-097
URI:	http://hdl.handle.net/11536/98506 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=583864&docId=109700
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APA	施., & SZE S. MIN (2000). 低介電常數材料應用在超大型積體電路上之研究(I). https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=583864&docId=109700.
Bibtex	@article{2000, title={低介電常數材料應用在超大型積體電路上之研究(I)}, author={施敏 and SZE SIMON MIN}, journal={https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=583864&docId=109700}, year={2000}, url={https://ir.lib.nycu.edu.tw/handle/11536/98506}, }